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殘余氣體分析四極質譜儀

簡要描述:儀器簡介:HALO 201 MBE 分子束外延殘余氣體分析四極質譜儀用于泄漏探測、趨勢分析、真空診斷的過程監測和殘余氣體的分析。
該分子束外延特定分析質譜儀由兼容性材料組成,并能在分子束外延環境中長期使用。

  • 產品型號:HALO 201 MBE
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2021-09-03
  • 訪  問  量:755
詳細介紹

儀器簡介:HALO 201 MBE 分子束外延殘余氣體分析四極質譜儀用于泄漏探測、趨勢分析、真空診斷的過程監測和殘余氣體的分析。 該分子束外延特定分析質譜儀由兼容性材料組成,并能在分子束外延環境中長期使用。

  主要特點:·鉬銅布線增加MBE環境下系統的壽命

·抗污染離子源護罩

·雙法拉第/ channelplate電子倍增器

                             技術規格:·質量數范圍: 1300 amu

·掃描速度: 100amu/s

·小掃描步階:0.01amu

·靈敏度: 0.1 ppm1ppm

·穩定性: 24h以上,峰高變化小于±0.5%

·小檢測分壓:2 x 10-13 mbar

·大工作壓力:1 x 10-4 mbar

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