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四極質譜儀

簡要描述:HIDEN RGA系列殘余氣體分析四極質譜儀檢測容器中的存在組分,或進行過程中產生氣體的分析。針對真空診斷的準確分析。

  • 產品型號:RGA系列
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2022-04-12
  • 訪  問  量:2549
詳細介紹

HIDEN RGA系列四極質譜儀殘余氣體分析檢測容器中的存在組分,或進行過程中產生氣體的分析,針對真空診斷的準確分析。

應用:

1、殘余氣體或泄漏檢測
2、實質上的泄漏或脫附分析
3、除氣研究
4、烘烤周期
5、泵效能
6、腔室/過程氣體污染物

四極質譜儀特點:

1、靈敏度PPM,質量數至300amu
2、穩定性(24小時以上,峰高變化小于±0.5%)
3、MASsoft軟件控制,或由局域網進行多個系統控制
4、快速顯示柱狀圖、趨勢分析和信號峰
5、混合模式掃描-多個windows窗口顯示信息,例如趨勢、柱狀圖和信號峰
6、同步顯示數據圖,列表
7、同步背景扣除,自動質量數列表
8、數據輸出為ASCII格式,至windows設備
9、即時動態數據交換至其他DDE兼容的windows軟件,例如Excel、SPC-IV統計過程控制軟件等。

 
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